超纯水装置的价格因型号、规格和生产厂家而异。一般来说，中大型的商用反渗透设备价格在150到400元之间，小型的家用型或者实验室用的则要贵一些。
一套完整的超纯水系统包括预处理部分、中间容器、保安过滤器以及紫外线杀菌器和精密滤芯等配件组成。其中主要的部件如RO膜与活性炭的成本费用占据了整个设备的三分之二甚至更高一点，其他的辅助件成本较低，但人工安装费需要几百元左右。如果选择多级串联的反渗透技术还需要增加更多的花费。该系统的优点在于能够去除99.8%的水溶性污染物，并且制取过程无化学添加物析出进入水中，出水水质良好且稳定；缺点是产水量较少，一般为2-3L/min 。
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